机译:磁控溅射从复合靶材上沉积的低氧化学计量外延ZrB2薄膜:沉积温度和溅射功率的影响
机译:直流双磁控溅射在低温下沉积的Si_xC_y薄膜:提供给Si和C阴极靶的功率对薄膜物理化学性质的影响
机译:溅射功率对r.f.沉积的ZnO:Ga薄膜性能的影响低温磁控溅射
机译:高功率脉冲磁控溅射和直流磁控溅射技术沉积的低电阻率Ru_(1-x)Ti_xO_2薄膜
机译:直流双磁控溅射在低温下沉积的Si_xC_y薄膜:提供给Si和C阴极靶的功率对薄膜物理化学性质的影响
机译:射频反应磁控溅射在低温下沉积在硅上的压电氮化铝薄膜的声波器件特性
机译:低温下大功率脉冲磁控溅射在铀上沉积的TiN膜
机译:磁控溅射从复合靶材上沉积的低氧化学计量外延ZrB2薄膜:沉积温度和溅射功率的影响